Дом > Новости > Новости отрасли

Все, что вам нужно знать о мишени для распыления ITO

2023-03-10


Полное название ITO — оксид индия-олова, который состоит из индия, олова и кислорода в разных пропорциях. Материал ITO и мишени для распыления ITO одинаков. Последний на самом деле представляет собой черно-серый керамический полупроводник, образованный путем смешивания порошков оксида индия и оксида олова в определенной пропорции.


Метод изготовления мишени для распыления ITO


Вакуумное горячее прессование


Вакуумное горячее прессование использует тепло и механическую энергию для уплотнения порошка ITO и может производить керамические мишени ITO высокой плотности с плотностью 91% ~ 96%. Этот метод может легко получить мишени ITO с плотностью, близкой к ожидаемой плотности, и пористостью, близкой к нулю. Однако из-за ограничений оборудования и размера формы вакуумное горячее прессование имеет меньше преимуществ при изготовлении мишеней для распыления больших размеров.


Горячее изостатическое давление


Горячее изостатическое прессование (HIP) подготавливает мишени для распыления ITO путем спекания под давлением или повышения давления при высокой температуре. Подобно вакуумному горячему прессованию, ГИП позволяет получать изделия с высокой плотностью (почти теоретической плотностью) и отличными физико-механическими свойствами при нагреве и прессовании. Однако оно также ограничено давлением оборудования и размером цилиндра.


Спекание при нормальной температуре


Спекание при комнатной температуре - это подготовка целевых преформ высокой плотности путем литья суспензии или предварительного прессования, а затем спекание для получения мишени ITO при определенной атмосфере и температуре. Его самым большим преимуществом является то, что он может производить мишень для распыления большого размера. Однако по сравнению с другими методами спекания чистота мишени, изготовленной этим методом, ниже.


Холодное изостатическое давление


Холодное изостатическое прессование (CIP) использует резину или пластик в качестве материала покрытия и жидкость в качестве рабочей среды для передачи сверхвысокого давления при комнатной температуре. CIP также может изготавливать более крупные мишени для распыления ITO. Он также дешев и подходит для массового производства. Однако CIP требует, чтобы материалы подвергались высокотемпературному спеканию при 1500–1600 ° C в среде чистого кислорода 0,1–0,9 МПа, что имеет высокий риск


Цель ITO/пленка ITO/проводящее стекло ITO


Эти три слова взаимосвязаны. Короче говоря, проводящее стекло ITO изготавливается путем распыления или испарения слоя тонкой пленки ITO на ультратонком стекле. Здесь мишенью ITO является источник атомов оксида индия и олова; Когда эти атомы оксида индия и олова осаждаются на подложку (стекло), получается пленка ITO. Стекло, покрытое пленкой ITO, называется проводящим стеклом ITO.


Применение мишени для распыления ITO


Мишень для распыления ITO и ее производные, такие как пленка ITO, стекло ITO, широко используются в различных отраслях промышленности. Мишень ITO часто используется для изготовления прозрачных проводящих покрытий для жидкокристаллических дисплеев (ЖК), плоских дисплеев, плазменных дисплеев, сенсорных панелей и других дисплеев. Пленка ITO используется для органических светодиодов, солнечных элементов и антистатических покрытий. Помимо электронной промышленности, мишень ITO также используется для различных оптических покрытий. Наиболее известными из них являются инфракрасное отражающее покрытие и стекло для натриевых ламп для автомобилей.